Reka bentuk dan fabrikasi sensor tekanan LC-MEMS berasaskan membran PMMA-Grafin

Reka bentuk dan fabrikasi sensor tekanan LC-MEMS berasaskan membran PMMA-Grafin

Keperluan untuk pengesanan tekanan tanpa wayar, berskala kecil, ringan dan berprestasi tinggi telah mendorong penyelidikan semasa untuk menumpukan perhatian pada peranti sensor tekanan sistem mikro-elektro-rnekanikal (MEMS). Pada masa kini, pembangunan sensor tekanan induktif-kapasitif (LC) ME...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Norliana binti Yusof (Author)
Corporate Author: Universiti Kebangsaan Malaysia . Institut Kejuruteraan Mikro & Nanoelektronik
Format: Thesis Book
Language:Malay
Subjects:
Universiti Kebangsaan Malaysia > Faculty of Science and Technology > Dissertations
Universiti Kebangsaan Malaysia > Dissertations
Detectors > Industrial applications
Microelectromechanical systems > Industrial applications
Dissertations, Academic
Table of Contents:
  • 1. Pengenalan
  • 2. Kajian kepustakaan
  • 3. Kaedah kajian
  • 4. Hasil kajian dan perbincangan reka bentuk, simulasi dan pengoptimunan
  • 5. Hasil kajian dan perbincangan fabrikasi sensor tekanan LC-MEMS
  • 6. Kesimpulan dan cadangan penerusan kajian

Similar Items