Reka bentuk dan fabrikasi sensor tekanan LC-MEMS berasaskan membran PMMA-Grafin
Keperluan untuk pengesanan tekanan tanpa wayar, berskala kecil, ringan dan berprestasi tinggi telah mendorong penyelidikan semasa untuk menumpukan perhatian pada peranti sensor tekanan sistem mikro-elektro-rnekanikal (MEMS). Pada masa kini, pembangunan sensor tekanan induktif-kapasitif (LC) ME...
Main Author: | |
---|---|
Corporate Author: | |
Format: | Thesis Book |
Language: | Malay |
Subjects: |
Badak Thesis Collection
Call Number: |
TA165 N67 2021 |
---|
Accession | Item Category | Format | Status | Notes |
---|
1000182975 | Reference | Thesis | Available |