Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs

MEMs atau lebih dikenali sebagai sistem Microelectromechanical mula diperkenalkan pad a tahun 1980an. Teknologi ini menggabungkan elemen pengesan, penggerak dan elektronik. Kesemua elemen ini disatukan dalam satu bahan as as (silicon) dan menjalani proses fabrikasi-mikro. Oua teknik pemesinan-...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Adon, Mohamad Nazib
Format: Thesis
Language:English
Published: 2006
Subjects:
Online Access:http://eprints.uthm.edu.my/7666/
http://eprints.uthm.edu.my/7666/1/24p%20MOHAMAD%20NAZIB%20ADON.pdf
_version_ 1848889170972377088
author Adon, Mohamad Nazib
author_facet Adon, Mohamad Nazib
author_sort Adon, Mohamad Nazib
building UTHM Institutional Repository
collection Online Access
description MEMs atau lebih dikenali sebagai sistem Microelectromechanical mula diperkenalkan pad a tahun 1980an. Teknologi ini menggabungkan elemen pengesan, penggerak dan elektronik. Kesemua elemen ini disatukan dalam satu bahan as as (silicon) dan menjalani proses fabrikasi-mikro. Oua teknik pemesinan-mikro yang selalu digunakan ialah pemesinan-mikro pukal dan pemesinan-mikro permukaan. Perisian CoventorWare™ menggunakan teknik pemesinan-mikro permukaan kerana teknik fabrikasinya lebih maju dan struktur mekanikal yang kompleks boleh dibina. Secara asasnya teknik ini dibina dengan mewujudkan beberapa lapisan bahan yang kemudiannya ada lapisan dihapuskan dan selebihnya akan menjadi struktur bahan. HasiI daripada pemilihan bah an dan proses pemesinan-mikro permukaan yang tepat rekabentuk 20 boleh dilakukan. Pada peringkat ini usuran lebar, panjang dan tebal peranti perlu dikenalpasti untuk mendapatkan rekabentuk yang optimum. Setelah itu rekabentuk 20 dipindahkan kebentuk 30, dimana analisis syarat sempadan dilaksanakan. CoventorWare ™ menggunakan empat jenis analisis jejaring iaitu permukaan, tetrahedron, bata manhattan dan bata melempar (extmded). Pemilihan analisis jejaring adalah berdasarkan kepada ketepatan analisis yang berkadar terus dengan tempoh masa simulasi. Setelah itu anal isis elektrostatik dan analisis elekromekanikal dijalankan untuk mengenalpasti adanya kesan kemuatan dan kesan tekanan terhadap rekabentuk yang dibina. Akhir sekali analisis penyelesaian gandingan (gabungan analisis elektrostatik dan elektromekanikal) dibuat untuk melihat kebolehpercayaan yang tinggi terhadap peranti aktif.
first_indexed 2025-11-15T20:21:56Z
format Thesis
id uthm-7666
institution Universiti Tun Hussein Onn Malaysia
institution_category Local University
language English
last_indexed 2025-11-15T20:21:56Z
publishDate 2006
recordtype eprints
repository_type Digital Repository
spelling uthm-76662022-09-08T02:40:27Z http://eprints.uthm.edu.my/7666/ Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs Adon, Mohamad Nazib TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering TK7800-8360 Electronics MEMs atau lebih dikenali sebagai sistem Microelectromechanical mula diperkenalkan pad a tahun 1980an. Teknologi ini menggabungkan elemen pengesan, penggerak dan elektronik. Kesemua elemen ini disatukan dalam satu bahan as as (silicon) dan menjalani proses fabrikasi-mikro. Oua teknik pemesinan-mikro yang selalu digunakan ialah pemesinan-mikro pukal dan pemesinan-mikro permukaan. Perisian CoventorWare™ menggunakan teknik pemesinan-mikro permukaan kerana teknik fabrikasinya lebih maju dan struktur mekanikal yang kompleks boleh dibina. Secara asasnya teknik ini dibina dengan mewujudkan beberapa lapisan bahan yang kemudiannya ada lapisan dihapuskan dan selebihnya akan menjadi struktur bahan. HasiI daripada pemilihan bah an dan proses pemesinan-mikro permukaan yang tepat rekabentuk 20 boleh dilakukan. Pada peringkat ini usuran lebar, panjang dan tebal peranti perlu dikenalpasti untuk mendapatkan rekabentuk yang optimum. Setelah itu rekabentuk 20 dipindahkan kebentuk 30, dimana analisis syarat sempadan dilaksanakan. CoventorWare ™ menggunakan empat jenis analisis jejaring iaitu permukaan, tetrahedron, bata manhattan dan bata melempar (extmded). Pemilihan analisis jejaring adalah berdasarkan kepada ketepatan analisis yang berkadar terus dengan tempoh masa simulasi. Setelah itu anal isis elektrostatik dan analisis elekromekanikal dijalankan untuk mengenalpasti adanya kesan kemuatan dan kesan tekanan terhadap rekabentuk yang dibina. Akhir sekali analisis penyelesaian gandingan (gabungan analisis elektrostatik dan elektromekanikal) dibuat untuk melihat kebolehpercayaan yang tinggi terhadap peranti aktif. 2006-05 Thesis NonPeerReviewed text en http://eprints.uthm.edu.my/7666/1/24p%20MOHAMAD%20NAZIB%20ADON.pdf Adon, Mohamad Nazib (2006) Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs. Masters thesis, Universiti Teknologi Malaysia.
spellingShingle TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
Adon, Mohamad Nazib
Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title_full Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title_fullStr Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title_full_unstemmed Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title_short Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs
title_sort simulasi suis optik menggunakan teknologi mems
topic TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
TK7800-8360 Electronics
url http://eprints.uthm.edu.my/7666/
http://eprints.uthm.edu.my/7666/1/24p%20MOHAMAD%20NAZIB%20ADON.pdf