Design And Implementation Of Liquid-Based Fine-Tunable Solenoid Mems Inductor - Razy, Ahmad Hafiz Mohamad (2018)
Peranti pasif seperti pengaruh litar bersepadu memainkan peranan penting dalam litar frekuensi radio. Walau bagaimanapun, prestasi kualiti faktor bagi pengaruh jenis ini dihadkan atas pengaruh substrat yang tinggi. Oleh itu, dalam tesis ini, bendalir boleh laras-halus pengaruh sistem mikroelektronik mekanikal solenoid dibentangkan untuk aplikasi frekuensi ultra tinggi. Bendalir Ferro berasaskan hidrokarbon ringan digunakan dalam reka bentuk untuk mencapai penalaan halus bagi nilai pengaruh. Tiub mikro bertindak sebagai saluran untuk penalaan. Tambahan daripada itu, teknik ‘wire bonding’ digunakan bagi tujuan mengurangkan rintangan siri, kehilangan substrat, dan kehilangan resonan kendiri. Wayar emas digunakan bagi mengikat bahagian pinggir dua pad logam. Ikatan dilakukan secara diagonal dengan menyeberangi bahagian atas tiub mikro. Pengaruh direka bentuk menggunakan ANSYS HFSS dan bacaan pengukuran ditetapkan pada frekuensi 400 MHz bagi tujuan pembuktian konsep. Pada frekuensi 400 MHz, keputusan simulasi menunjukkan kualiti faktor meningkat dari 10 hingga 12 manakala nilai pengaruh berubah dari 7.48 nH hingga 9.06 nH bagi saluran tiub kosong dan saluran tiub yang telah disuntik dengan bendalir Ferro. Keputusan menunjukkan julat penalaan sebanyak 21% berjaya dicapai. Namun demikian, keputusan bagi bacaan pengukuran pengaruh menunjukkan, pada frekuensi 400 MHz, nilai kualiti faktor secara perlahan menurun dari 6.79 kepada 5.49 dengan nilai pengaruh meningkat dari 21.40 nH kepada 22.40 nH bagi saluran tiub kosong dan saluran tiub yang telah disuntik dengan bendalir Ferro. Keputusan ini telah memberikan bacaan julat penalaan sebanyak 4.67%. Kesimpulannya, reka bentuk berasaskan bendalir boleh laras-halus pengaruh sistem mikroelektronik mekanikal solenoid berjaya dicapai untuk aplikasi frekuensi ultra tinggi.