Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi
Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan de...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/41649/ http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf |
| _version_ | 1848879344213032960 |
|---|---|
| author | Nugroho, Cahyo Budi |
| author_facet | Nugroho, Cahyo Budi |
| author_sort | Nugroho, Cahyo Budi |
| building | USM Institutional Repository |
| collection | Online Access |
| description | Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. |
| first_indexed | 2025-11-15T17:45:44Z |
| format | Thesis |
| id | usm-41649 |
| institution | Universiti Sains Malaysia |
| institution_category | Local University |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-15T17:45:44Z |
| publishDate | 2010 |
| recordtype | eprints |
| repository_type | Digital Repository |
| spelling | usm-416492019-04-12T05:26:54Z http://eprints.usm.my/41649/ Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi Nugroho, Cahyo Budi TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Pirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. 2010-04 Thesis NonPeerReviewed application/pdf en http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf Nugroho, Cahyo Budi (2010) Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi. Masters thesis, Universiti Sains Malaysia. |
| spellingShingle | TN1-997 Mining engineering. Metallurgy Nugroho, Cahyo Budi Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title | Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_full | Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_fullStr | Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_full_unstemmed | Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_short | Pemeriksaan Filem SiO2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi |
| title_sort | pemeriksaan filem sio2 yang dienapkan di atas susbtrat si melalui teknik pirolisis semburan ultrabunyi |
| topic | TN1-997 Mining engineering. Metallurgy |
| url | http://eprints.usm.my/41649/ http://eprints.usm.my/41649/1/CAHYO_BUDI.pdf |