Coplanar Electrode Fluidic-Based Acoustic Sensing Method For Underwater Applications - Rahman, Mohamad Faizal Abd (2016)
Tesis ini mencadangkan kaedah penderiaan akustik berasaskan cecair untuk aplikasi bawah air. Mekanisme penderiaan yang dipilih adalah berdasarkan konsep kemuatan yang terhasil daripada elektrod koplanar. Struktur tersebut dicadangkan untuk mengatasi beberapa permasalahan yang timbul daripada peranti sediada iaitu Pemuat Mikromesin Transduser Ultrasonik. Isu kebolehbergantungan, disebabkan lengkungan membran yang berlebihan diatasi dengan menyuntik cecair di bawah lapisan membran bagi menambah nilai redaman ketika beroperasi di bawah tekanan luaran dan voltan yang tinggi. Penggunaan teknik litografi lembut untuk fabrikasi memberi kelebihan disebabkan proses yang lebih ringkas. Kaedah penderiaan ini dibuktikan melalui kitaran lengkap yang terdiri daripada proses pemodelan, fabrikasi dan pengujian. Dimensi struktur mematuhi kriteria yang ditetapkan seperti teori lengkungan membran dan teori penembusan kedalaman. Ujian akhir menunjukkan kebolehan peranti untuk mengesan isyarat akustik 200kHz yang dipancarkan melalui peranti bawah air dengan bacaan sensitiviti sebanyak 0.67pF/Pa. Kesan persekitaran seperti getaran pada frekuensi rendah (10Hz to 100Hz) dan perubahan suhu (-20 ̊C to 30 ̊C) juga didapati tidak memberi kesan terhadap operasi peranti. Ini menujukkan kestabilan peranti untuk berfungsi pada keadaan tertentu.