Kajian Mengenai Kebersandaran Pembentukan Keadaan Potong Bawah Penjuru Terhadap Jenis Larutan Pemunar dalam Penghasilan Diafram Beralun Silikon - Soin, Nor Hayati; Majlis, Burhanuddin Yeop (Universiti Putra Malaysia Press, 2006)
Kertas kerja ini membentangkan hasil kajian simulasi mengenai kesan jenis larutan pemunar ke atas keadaan potong bawah penjuru yang terhasil pada struktur-struktur penjuru cembung diafram beralun silikon (l00). Diafram yang terlibat dalam kajian ini dihasilkan dengan menggunakan teknik punaran anisotropik dengan larutan kalium hidroksida (KOH) dan larutan tetrametil amonia hidroksida (TMAH) sebagai pemunar. Kerja-keIja simulasi telah dijalankan dengan menggunakan perisian proses punaran anisotropik Intellisuite. Berdasarkan geometri struktur penjuru cembung terpunar dan kemunculan satah-satah baru silikon, diafram beralun silikon yang dipunarkan di dalam larutan TMAH didapati mengalami keadaan potong bawah penjuru yang lebih ketara berbanding diafram yang dipunarkan dalam larutan KOH.