Kesan Halaju Putaran Gilapan Terhadap Peratus Potongan Hujung Sisi Pandu Gelombang Polimer SU-8 di atas Substrat Silikon
Kajian ini memfokuskan kepada ciri-ciri gilapan bagi pandu gelombang polimer. Tujuan utamanya adalah untuk mengkaji bagaimana halaju putaran gilapan memberi kesan kepada panjang terpotong permukaan hujung sisi pandu gelombang polimer SU-8 di atas substrat silikon. Terdapat tujuh set halaju putaran y...
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universiti Kebangsaan Malaysia, UKM
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://ir.unimas.my/id/eprint/701/ http://ir.unimas.my/id/eprint/701/1/kesan%20halatuju%20putaran%20gilapan%20terhadap%20peratus%20potongan%20hujung%20sisi%20pandu.pdf |
| Summary: | Kajian ini memfokuskan kepada ciri-ciri gilapan bagi pandu gelombang polimer. Tujuan utamanya adalah untuk mengkaji bagaimana halaju putaran gilapan memberi kesan kepada panjang terpotong permukaan hujung sisi pandu gelombang polimer SU-8 di atas substrat silikon. Terdapat tujuh set halaju putaran yang dikenakan iaitu 50, 100, 150, 200, 250, 300 dan 350 rpm. Dari keputusan yang diperoleh, dapat disimpulkan bahawa peratus potongan bagi setiap halaju putaran adalah ≤0.5 % (50 rpm), 0.6 – 1.0 % (100 rpm), 3.8 – 4.8 % (150 rpm), 7.7 – 10.6 % (200 rpm), 15.7 – 18.3% (250 rpm), 25.6 – 27.4 % (300 rpm) dan 40.0 – 43.7 % (350 rpm). Kata Kunci: Halaju putaran, polimer su-8, panjang terpotong, pandu gelombang planar. |
|---|