Pencirian proses penyediaan titanium silisida untuk kegunaan saling hubung
litar bersepadu CMOS

QR Code

Pencirian proses penyediaan titanium silisida untuk kegunaan saling hubung litar bersepadu CMOS

Characterization of the titanium silicide process preparation for the application of interconnection in CMOS integrated circuit has been characterized. The process characterize are titanium deposition, selective wet etching, native oxide removal and thermal budget adjustment of reflow- anneal bor...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors:	Uda Hashim, Burhanuddin Yeop Majlis, Sahbudin Shaari
Format:	Article
Published:	2000
Online Access:	http://journalarticle.ukm.my/1368/

Similar Items

Kesan Peningkatan Suhu Terhadap Pembentukan Titanium Silisida
by: Balakrishnan, Prakash Babu
Published: (2005)

EEE 426 - Kejuruteraan Litar Bersepadu
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1994)

Penyediaan dan pencirian karbon aktif
by: Muhammad, Badri, et al.
Published: (1991)

Penyediaan dan pencirian karbon aktif
by: Badri, M., et al.
Published: (1990)

Penyediaan, Pencirian Dan Aplikasi Elektrod Benzoat
by: Kanapathy, Kanagi
Published: (1990)

Optimization of titanium silicide formation on boron doped silicon using statistical design
by: Uda Hashim,, et al.
Published: (2000)

EEE 469 - KEJURUTERAAN LITAR BERSEPADU SEPT 1997.
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1997)

EEE469 - KEJURUTERAAN LITAR BERSEPADU SEPT 1997
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1997)

Pembentukan Dan Pencirian Kobalt Silisida Atas Wafer Silikon (111) Pada Suhu Substrat Dan Sepuh Lindap Yang Berbeza-Beza
by: Abdul Hamid, Noorhisyam
Published: (2005)

EEE445 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU - NOVEMBER 2008.
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2008)

EEE 348 – PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU November 2008
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2008)

EEE 445 – REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU november 2008
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2008)

EEE 348 - PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU JUN 09.
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2009)

EEE 348 - PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU NOVEMBER 2010
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2010)

EEE 445 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU NOVEMBER 2010
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2010)

EEE 426 - KEJURUTERAAN LITAR BERSEPADU OKT-NOV 1994.
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1994)

EEE 348 - PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU JAN. 2012
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2012)

EEE 445 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU JAN. 2012
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2012)

EEE 425 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU SEPT 1997.
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1997)

EEE425 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU SEPT 1997
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1997)

Litar penuai tenaga hibrid mikro untuk aplikasi bioperubatan
by: Jahariah Sampe,, et al.
Published: (2017)

Penyediaan dan pencirian karbon aktif daripada hampas sagu
by: Ahmad, Sharizan
Published: (2000)

MEMS very low capacitive pressure sensor based on CMOS process
by: Muhamad Ramdzan Buyong,, et al.
Published: (2011)

Pencirian Kesesuaian Kaolin Dari Gua Musang, Kelantan Untuk Kegunaan Industri Kertas
by: Che Halin, Dewi Suriyani
Published: (2004)

EEE 445 - REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU OKT-NOV 07
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2007)

EEE 348 – PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU Oktober November 2007
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2007)

EEE 445 – REKABENTUK LITAR ANALOG BERSEPADU Oktober November 2007
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2007)

EEE 325 - REKABENTUK LITAR BERSEPADU ANALOG OKT-NOV 1995
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (1995)

Pencirian transistor karbon tiub nano berdinding tunggal yang dihasilkan melalui kaedah pertumbuhan langsung
by: Mohd Ambri Mohamed,, et al.
Published: (2017)

Penyediaan dan pencirian nanokomposit epoksi berpenguat getah asli terepoksida
by: Se Yong Eh Noum,, et al.
Published: (2014)

Penyediaan dan pencirian saput tipis SnSe berorientasi tunggal
by: Sakrani, Samsudi
Published: (1996)

Penyediaan dan pencirian membran pertukaran anion bagi proses elektrodialisis
by: M., Mahadevan, et al.
Published: (2002)

Pencirian pertumbuhan lapisan nano grafin di atas elektrod antara digit superkapasitor MEMS
by: Hafzaliza Erny Zainal Abidin,, et al.
Published: (2017)

Litar setara dwi jalur antena dwikutub bersepadu untuk aplikasi RFID
by: Norsuzlin Mohd Sahar,, et al.
Published: (2024)

EEE 348E - PENGANTAR REKABENTUK LITAR BERSEPADU SEPT-OKT 03
by: PPKEE, Pusat Pengajian Kejuruteraan Elektrik & Elektronik
Published: (2003)

Penyediaan dan pencirian karbon teraktif dari kayu bakau (Rhizophora apiculata)
by: Ahmad Zulkarnain, Zuriati, et al.
Published: (1990)

Sintesis dan pencirian kobalt sulfida menggunakan misel ester sukrosa dan kegunaan sebagai penjerap pewarna
by: Huang, Nay Ming, et al.
Published: (2009)

Penyediaan pelan pengurusan lembangan sungai bersepadu Sungai Muda,Kedah/Pulau Pinang
by: Aziz, Edriyana A., et al.

Pencirian elektrik dan bahan bagi peranti CMOS 0.15 mikron
by: Sulong, Muhammad Suhaimi
Published: (2005)

Characterization of co-synthesized titanium and ZnO nanostructures
by: Ismardi, Abrar, et al.
Published: (2008)