Komposisi ikatan kimia dan mekanisme pertumbuhan filem nipis a-CNx oleh teknik rf-PECVD suhu rendah

QR Code

Komposisi ikatan kimia dan mekanisme pertumbuhan filem nipis a-CNx oleh teknik rf-PECVD suhu rendah

Dalam kajian ini, filem nipis karbon nitrida amorfus (a-CNx) telah dimendapkan menggunakan teknik pemendapan wap kimia secara peningkatan berfrekuensi radio, (radio-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition, rf-PECVD). Sampel disediakan pada suhu substrat yang berbeza iaitu pada 80, 100,...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors:	Siti Aisyah Abd Aziz, Rozidawati Awang
Format:	Article
Language:	English
Published:	Penerbit Universiti Kebangsaan Malaysia 2020
Online Access:	http://journalarticle.ukm.my/15484/ http://journalarticle.ukm.my/15484/1/24.pdf

Similar Items

Kesan kuasa frekuensi radio terhadap komposisi ikatan kimia filem nipis a-CNx sebagai pengesan kelembapan
by: Siti Aisyah Abd Aziz,, et al.
Published: (2017)

Characterization of a-CNx Thin Films prepared by RF-PECVD Technique for humidity sensor
by: R. Awang,, et al.
Published: (2017)

Kesan suhu sepuh lindap ke atas mikrostruktur, morfologi permukaan dan komposisi filem nipis Ba0.5Sr0.5tio3 yang disediakan dengan kaedah sol gel
by: Rahmi Dewi,, et al.
Published: (2008)

Sifat-Sifat Optik Filem Nipis Germanium Amorfus Tersejat
by: Saw, Kim Guan
Published: (1993)

Effect of radio frequency power on a-CNx film properties and its performance as humidity sensors
by: Rozidawati Awang,, et al.
Published: (2018)

Kesan suhu rendaman dan suhu sepuh lindap dalam penyediaan filem nipis bismut sulfida (bi2s3) terhadap prestasi sel suria organik jenis songsang berasaskan P3HT: PCBM
by: Nurul Nadhirah Md Ridzuan,, et al.
Published: (2022)

Penggunaan elektrod filem nipis emas dalam analisis enzim secara konduktometri
by: Engku Norbaya Engku Muda,, et al.
Published: (1997)

Struktur dan sifat optik filem nipis nanozarah ZnO terdop Ga
by: Awang, R., et al.
Published: (2013)

Peningkatan prestasi fotomangkin dalam degradasi aseton menggunakan filem nipis nanorod x-TiNb
by: Masliana Muslimin,, et al.
Published: (2025)

Penjagaan pokok limau nipis.
by: Utusan Malaysia, Syed Ghazali Jalalulin Syed Hassan
Published: (2011)

Kesan pendopan Zr ke atas morfologi, struktur dan sifat optik filem nipis nanorods TiO₂
by: Masliana Muslimin,, et al.
Published: (2025)

Kesan sistematik modifikasi dielektrik dengan asid fosfonik alkil ekalapisan terhadap prestasi transistor filem nipis organik saluran-N
by: Mohd Zulhakimi Abdul Razak,, et al.
Published: (2019)

Structural properties of hydrogenated amorphous silicon (A-SI:H) thin film grown via radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF PECVD)
by: Anthony Hasbi, Hasbullah
Published: (2005)

Sintesis dan mekanisme pertumbuhan kepingan NbS2 yang dihasilkan melalui pemendapan wap kimia dibantu garam halida
by: Syahirah Ahinayadullah,, et al.
Published: (2025)

Effect of Co catalyst on PECVD growth of carbon nanotubes for NEMS applications
by: Lee, Mai Woon, et al.
Published: (2012)

SUKMALINDO kukuhkan ikatan
by: Utusan Sarawak
Published: (2011)

The effect of Ni catalyst on the growth of multi-walled carbon nanotubes by PECVD method
by: Mai, Woon Lee, et al.
Published: (2015)

Kajian mengenai semikonduktor berasaskan karbon / silikon direka menggunakan DC-PECVD
by: Muhammad, Rosnita

Optimization of home-built plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) system
by: Saidin, M. A. R., et al.
Published: (2007)

Optimization of home-built plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) system
by: Saidin, M. A. R., et al.
Published: (2007)

Mekanisme pembentukan apatit pada permukaan sampel β-wolastonit yang dihasilkan daripada abu sekam padi
by: Hamisah Ismail,, et al.
Published: (2016)

Permainan nyanyian jalin ikatan
by: Yusop, Mohd Shazwan
Published: (2021)

Rawatan plasma nitrogen suhu bilik untuk peningkatan fungsi penyembuhan pembalut luka
by: Anin Sofya Mohd Akhiri,, et al.
Published: (2024)

Kedudukan subjek dalam aspek komposisi: Kajian terhadap Filem Hikayat Merong Mahawangsa (2011) / Mohd Afnan Mohd Fauzi
by: Mohd Fauzi, Mohd Afnan
Published: (2014)

Effect of substrate temperature on the properties of diamond-like carbon deposited by PECVD in methane atmosphere
by: Sarmid, Suriany, et al.
Published: (2006)

Perencatan Terhadap Pertumbuhan Escherichia Coli 2520 (USCC) Oleh Laktoferin Dan Bifidobakterium Asteroides.
by: Abd Rashed, Aswid
Published: (1998)

Carbon nanowall-based nanocomposites synthesised by HF-PECVD for photoelectrochemical applications / Noor Hamizah Khanis
by: Noor Hamizah , Khanis
Published: (2019)

Kesan Sitotoksik Dan Mekanisme Kematian Sel Oleh Ekstrak Phyllanthus Pulcher Terhadap Pelbagai Turunan Sel Kanser
by: Rasad, Mohammad Syalful Bahari Abdull
Published: (2004)

Peningkatan suhu ancam kesihatan
by: Abdul Rahman, Haliza
Published: (2022)

Kesan Suhu Dan Masa Fermentasi Terhadap Komposisi Kimia Terpilih, Antioksidan Dan Kualiti Teh Misai Kucing (Orthosiphon Stamineus) [TX415. A597 2008 f rb].
by: Mustaffa, Ani Fadhlina
Published: (2008)

Komposisi muzik "Electroacoustic" Gua Kapow
by: Asas, ak. Ranyaw.
Published: (2006)

Pangkalan data komposisi makanan berkomputer.
by: Azudin, Mohd. Nasir, et al.
Published: (1988)

Peningkatan isyarat SERS berdasarkan pemerangkapan foton oleh nanorod ZnO vertikal terbantu suhu untuk aplikasi CKD
by: Nur Adliha Abdullah,, et al.
Published: (2025)

Hari keluarga rapatkan ikatan antara staf
by: UMP, .
Published: (2011)

Manipulasi ikatan Cina bagi hiasan dalaman
by: Hew, Huai Li
Published: (2006)

Flow and Heat Transfer in a Nanofluid Thin Film over an Unsteady Stretching Sheet (Aliran dan Pemindahan Haba dalam Filem Nipis Nanobendalir atas Kepingan Meregang Secara tak Mantap)
by: Raziana Che Aziz,, et al.
Published: (2018)

Pemuliharaan penting kawal suhu persekitaran
by: Berita Harian
Published: (2023)

Usaha diharap redakan suhu politik
by: Hasan, Saiful Hazan
Published: (2021)

Seminar saintifik komposisi badan dan pemakanan
by: Kosmo
Published: (2019)

Praktis jururawat mengendalikan suhu inkubator dan perbandingan suhu dengan "recommended neutral thermal environment temperature"
by: Mohamed, Norzihan
Published: (2003)